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2013 | [2013] 마이크로렌즈 어레이를 이용한 엑시머 레이저 빔의 균질화 연구

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작성자 관리자 작성일18-03-09 11:56 조회29회 댓글0건

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마이크로렌즈 어레이를 이용한 엑시머 레이저 빔의
균질화 연구
Beam Homogenizer for LED laser lift-off
PROJECT FINISH2010~2013년
본 연구는 EXCIMER LASER를 광원으로 사용 한 BEAM HOMOGENIZER에 관한 것으로 광세기를 일정 영역에서 균일한 분포를 갖도록 하는 광학계이다. 종래의 기술로 PROJECTOR의 출사 광을 UNIFORM한 사각형태의 BEAM으로 만들어주는 FLY'S EYE LENS가 대표적이다. 최근 반도체 공정에서 MICRO-MACHINING, LITHOGRAPHY, LLO(LASER LIFT-OFF), LASER ANEALING 등 여러 분야에서 높은 UNIFORMITY를 갖는 BEAM의 수요가 증가하고 있다. 따라서 수직형 LED 제조 과정에서 사용되는 LLO공정용 EXCIMER LASER BEAM HOMOGENIZER를 광학 설계 프로그램인 LIGHTTOOLS를 이용하여 설계 및 분석하였다.
<그림 1> BEAM HOMOGENIZER의 적용분야
 
<그림 2> LASER LIFT-OFF SYSTEM 개념도
 
LIGHTTOOLS를 이용한 최적 설계
MICORLENS APPLY TYPE과 CROSSED-CYLINDRICAL, ARRAY TYPE으로 요구조건 FLAT-TOP SIZE 5MM X 5MM, UNIFORMITY 95% 이상이 되는 HOMOGENIZER를 설계하였다. 제조과정을 고려하여 요구된 SPEC.을 만족하여 제작이 가능한 CROSSED-CYLINDRICAL ARRAY TYPE으로 최적 설계를 진행하여 최종적으로 6MM X 6MM 크기의 UNIFORMITY 98% 이상인 FLAT-TOP BEAM을 얻었다.
<그림 3> ILLUMINANCE CHART ANALYSIS
 
<그림 4> LUM VIEW CHART
 
<그림 5> PROTOTYPE 제작
 

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