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작성일 : 18-02-12 15:12
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[2013] 모바일 디스플레이 기기의 10 μm 패턴용 투영 노광장비 개발
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모바일 디스플레이 기기의 10 μm 패턴용 투영 노광장비 개발
Development of Projection Exposure Equipment for 10μm Patterning of Mobile Display Device
project finish2012~2013년
PR(Photo Resist) 이 도포된 기판 위에 Mask를 Align한 이후 UV를 조사 하여 회로를 형성 하는 설비.
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