개발 배경
반도체 선폭이 미세화 됨에 따라 반도체 검사장비 시장에서 고분해능 대물렌즈의 수요가 증가하고 있는 추세이다. 아직까지 우리나라는 고분해능을 위한 심자외선용 높은 수치구경 대물렌즈는 전량 수입에 의존하고 있는 상황이다. 국내 고분해능 대물렌즈 제작 기술 개발을 위해 본 연구가 시작되었다.
연구개발 목표
본 연구과제는 단결정 CaF2 소재를 이용한 반도체 웨이퍼 미세패턴 결함 장비용 고분해능 자외선 렌즈 모듈 설계를 목표로 한다. 이를 위해 심자외선(193nm) 파장 대역에서 고분해능이 가능하도록 높은 집광능력 (NA0.8 이상)의 렌즈 설계 기술을 개발한다. 설계된 렌즈의 수차 및 잡광 최소화 연구, 민감도 분석을 통한 보상자 선정 연구, 조립 및 정렬 오차 요인 분석 연구 통해 렌즈 설계 및 제작에 대한 원천 기술을 개발한다.
Research on High NA DUV object lens design
project ing2021년~2025년
반도체 선폭이 미세화 됨에 따라 반도체 검사장비 시장에서 고분해능 대물렌즈의 수요가 증가하고 있는 추세이다. 아직까지 우리나라는 고분해능을 위한 심자외선용 높은 수치구경 대물렌즈는 전량 수입에 의존하고 있는 상황이다. 국내 고분해능 대물렌즈 제작 기술 개발을 위해 본 연구가 시작되었다.